PG电子·(中国)官方网站

　　薄膜沉积设备在半导体设备价值链中占比高达25%ღ◈◈★，是半导体设备国产化的重要一环PG电子ღ◈◈★，ღ◈◈★。近些年国内薄膜沉积设备企业取得很大进展ღ◈◈★， 无论是技术储备还是产品线的丰富程度班长说满分就可以上他ღ◈◈★，都具备了很强的市场竞争力ღ◈◈★。陛通就是其中优秀一员ღ◈◈★，陛通已有多款产品获得客户验证ღ◈◈★，而且产品的国产化率超过80%ღ◈◈★。那么国产薄膜沉积设备何时取得全面突破ღ◈◈★，突破的路径是什么？我们采访了上海陛通半导体能源科技股份有限公司董事长宋维聪ღ◈◈★，来分享薄膜沉积设备国产化的进展ღ◈◈★。

　　于1991-1993年为美国富士通个人电脑公司工艺工程师PG电子ღ◈◈★，1993-2006年担任全球最大的半导体设备制造商之一应用材料公司（AMAT）刻蚀产品部ღ◈◈★、

　　产品部和全球技术服务部商务总监ღ◈◈★。2006年2月回国并创立了北京海微芯仪ღ◈◈★，担任行政副总裁ღ◈◈★。2008年11月ღ◈◈★，在上海张江创立了陛通ღ◈◈★，为陛通董事长和总经理ღ◈◈★。

　　薄膜沉积设备以功能材料层和相关辅助材料多次沉积和堆叠ღ◈◈★，搭建整个芯片构造ღ◈◈★。国外起步至今已经五十多年ღ◈◈★，设备产品已经很成熟ღ◈◈★，存在大量有效专利壁垒ღ◈◈★。从2008年起ღ◈◈★，国内设备企业经过十余年的艰苦奋斗ღ◈◈★，取得了很大的进步和提升ღ◈◈★，但差距也不可否认ღ◈◈★。国内设备的零部件供应链的供货质量和完整性ღ◈◈★，直接影响国内设备的性能ღ◈◈★，目前某些核心零部件还无法完全供应ღ◈◈★。与一些国际设备大厂相比pg电子最新网站入口ღ◈◈★，ღ◈◈★，国内设备企业普遍研发投入仍然不够ღ◈◈★。国内企业专业技术人才明显不足ღ◈◈★，特别是有实际经验的人才ღ◈◈★，这需要时间积累ღ◈◈★。

　　国产设备制造缺乏体系化生产流程ღ◈◈★，特殊工艺无法满足ღ◈◈★，关键工艺不稳定ღ◈◈★、不可靠ღ◈◈★。这反映出国内设备行业与国际企业相比在成建制ღ◈◈★、成系统ღ◈◈★、成规模上的差距ღ◈◈★。解决这些问题ღ◈◈★，一要加大研发投入ღ◈◈★，攻坚重点指标形成自已的独门绝技ღ◈◈★；二要国内晶圆大厂给予国内设备企业更多机会pg娱乐电子游戏官网ღ◈◈★。ღ◈◈★，也要有容错的耐心ღ◈◈★；三要国内设备供应链需尽快健全ღ◈◈★，尽量加快国产关键零部件的替代进程和质量ღ◈◈★；四要政府基金ღ◈◈★、行业资本要向设备及零部件领域倾斜ღ◈◈★。

　　目前国产半导体设备还不能全面对标国际竞品ღ◈◈★，但可以在核心参数上实现突破ღ◈◈★，在特定领域做“深”做“精”ღ◈◈★，而不一味追求做“全”做“广”ღ◈◈★。我们陛通的战略就是不仅深耕前道绝大多数膜层工艺ღ◈◈★；而且还推出了面向后道先进封装及TSV的解决方案ღ◈◈★，同时通过与国内晶圆大厂紧密合作ღ◈◈★，根据晶圆厂的需求进行设备定制化发展班长说满分就可以上他ღ◈◈★。

　　目前国内关键设备零部件仍处于国外件与国内件共存的状态ღ◈◈★，但国内零部件的比例在逐年提升ღ◈◈★。采用国内零部件会有成本低ღ◈◈★、交期短ღ◈◈★、断链风险小等优点ღ◈◈★，但某些核心部件还需要时间来完成替代ღ◈◈★。陛通大力扶持和培养国内关键零部件厂商ღ◈◈★。有很多国内厂商的关键零部件在我们的机台上验证并取得成功ღ◈◈★，现在陛通设备的国产化率已经超过了

　　制裁有一定影响ღ◈◈★，但是国内半导体全行业正在AI领域攻坚ღ◈◈★，而且取得很大进步班长说满分就可以上他ღ◈◈★。以设备为例班长说满分就可以上他ღ◈◈★，制裁给了国内半导体制程设备厂商前所未有的契机ღ◈◈★。NVIDIAღ◈◈★、AMD带火了H

　　技术和先进封装ღ◈◈★，在该领域国内企业具备赶上甚至超越的潜力ღ◈◈★，国内晶圆厂已在这一领域进行了布局ღ◈◈★，在部分技术上面已经实现了领先ღ◈◈★，国内知名晶圆大厂也给我们派发了任务ღ◈◈★，相信国内有实力ღ◈◈★、有核心技术储备的设备企业会顺势崛起高速轴承ღ◈◈★。ღ◈◈★。

　　目前国内各大晶圆厂的国产设备占比还很低ღ◈◈★，追赶上国际竞品还需要一定时间ღ◈◈★，需要整个产业长期协同配合ღ◈◈★，共同奋斗ღ◈◈★。我认为全球半导体行业将在2024年到2027年迎来黄金三年ღ◈◈★，对于国内半导体产业是个非常重要的机遇期PG电子·(中国)官方网站ღ◈◈★，对陛通来说也将是个高速发展期ღ◈◈★。陛通将继续坚持差异化创新的战略ღ◈◈★，深耕于薄膜沉积领域ღ◈◈★，成为国内外领先的高端半导体薄膜沉积设备供应商班长说满分就可以上他ღ◈◈★。

　　2006年初我们辞职归国ღ◈◈★，开始连续创业ღ◈◈★，2008年在张江成立了陛通半导体ღ◈◈★。在漫长的创业之路上与我一路同行的还有多位来自国外知名设备企业和Fab大厂的专家ღ◈◈★，他们在国外积累了丰富的Know-how和先进的经验ღ◈◈★。我们要学习国际原厂严格的质量管理和生产流程ღ◈◈★，为国内企业提供

　　当初陛通是从二手设备翻新业务起步ღ◈◈★，这是企业初创阶段资金短缺不得已而为之ღ◈◈★。虽然二手设备翻新业务对国家半导体设备产业只是一个辅助手段pg电子官方网站ღ◈◈★。ღ◈◈★，但它不仅锻炼了企业技术团队的业务能力ღ◈◈★，而且让研发团队提前接触到客户所需的先进工艺制程和设备结构班长说满分就可以上他ღ◈◈★，为今后团队开发国产设备提前做好了必要的培训工作PG电子·(中国)官方网站ღ◈◈★。

　　作为追赶者差异化创新是决胜之道ღ◈◈★。目前ღ◈◈★，陛通除了拥有已陆续通过客户端验证的6/8吋PVDღ◈◈★、12吋PE/SACVDღ◈◈★、12吋PVDღ◈◈★、12吋Backside Dep Horizon设备产品ღ◈◈★，陛通还独创了四大全球首创技术ღ◈◈★：通过小亮旋转ღ◈◈★，将传统静态化学沉积工艺变为动态沉积ღ◈◈★，主要用于对薄膜均匀性要求比较高的CVD薄膜ღ◈◈★，我们的薄膜均匀性和薄膜应力调节超过美系设备ღ◈◈★；旋转ESC设计已装置在存储芯片客户所需的陛通PECVD设备上ღ◈◈★；精确晶圆再平整技术PWRTPG电子·(中国)官方网站ღ◈◈★，目前已在3DNAND, CIS及IGBT领域得到了广泛的认可ღ◈◈★；UVCVD极大地提高光通量的均匀性ღ◈◈★，指标也超过美系设备ღ◈◈★。此外PG电子·(中国)官方网站ღ◈◈★，随着AI的兴起ღ◈◈★，我们也推出了面向TSV的机台ღ◈◈★，Liner Oxide的12吋PE-SA CVDღ◈◈★，TSVCopper B/S12吋PVD以及HAR TSV 8吋PVDღ◈◈★。

　　陛通从吸收消化海外先进技术入手ღ◈◈★，完成初始积累之后走上原始创新ღ◈◈★、全产业链可控的自主创新之路ღ◈◈★，市场策略追求特定领域的特色产品实现重点突破ღ◈◈★。目前陛通国产PVDღ◈◈★、

　　在全球半导体行业爆发式增长的大趋势下PG电子·(中国)官方网站ღ◈◈★！ღ◈◈★，中国半导体设备产业将迎来重大机遇ღ◈◈★，更多国内半导体设备企业将会崭露头角PG电子·(中国)官方网站ღ◈◈★。陛通经过16年的励精图治ღ◈◈★，已经形成了人才ღ◈◈★、技术和商业的广泛积累ღ◈◈★，具备了核心竞争力ღ◈◈★，未来将持续与上下游伙伴协同配合ღ◈◈★，为客户提供更优质的产品和服务PG电子·(中国)官方网站ღ◈◈★，实现全产业链的共同腾飞ღ◈◈★。【

　　第十届张江高科·芯谋研究集成电路产业领袖峰会将于2024年9月21日隆重举行pg娱乐电子游戏官网ღ◈◈★，ღ◈◈★。芯谋峰会是全球集成电路产业高规格PG电子·(中国)官方网站ღ◈◈★、国际化ღ◈◈★、全产业链的重要盛会之一ღ◈◈★，国内外顶尖科技公司一把手ღ◈◈★、产业头部企业负责人及知名学术专家大佬共聚一堂ღ◈◈★，共商新形势下全球半导体产业发展大计ღ◈◈★。

　　2015年-2023年ღ◈◈★，芯谋研究已连续举办九届芯谋研究集成电路产业领袖峰会ღ◈◈★，领袖峰会已成为国内最有影响力的产业峰会之一ღ◈◈★。